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GSS600超聲掃描顯微鏡-半導(dǎo)體行業(yè)

產(chǎn)品中心

GSS600超聲掃描顯微鏡-半導(dǎo)體行業(yè)

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SHSIWI GSS600超聲掃描顯微鏡

技術(shù)規(guī)格書(shū)

一、基本信息

超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)成像設(shè)備,主要利用高頻超聲波,對(duì)各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè),能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過(guò)程中,不會(huì)對(duì)樣品造成損傷,不會(huì)影響樣品性能,可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導(dǎo)體、電器焊接件、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。

 

1.1 產(chǎn)品名稱

超聲掃描顯微鏡

1.2 數(shù)量

1臺(tái)

1.3 規(guī)格型號(hào)

型號(hào)

機(jī)器示意圖

SHSIWI GSS600

 

注:上圖僅供參考,實(shí)際產(chǎn)品可能會(huì)有所差別

1.4 機(jī)電特性

機(jī)電特性

規(guī)格型號(hào)

整機(jī)尺寸

1000mm×900mm×1400mm

水槽尺寸

620mm×650mm×150mm

有效掃描范圍

350mm×300mm×100mm

******掃描速度

600mm/s

圖像推薦分辨率

14000um

定位精度

X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm

重復(fù)定位精度

X/Y≤±0.01mmZ≤±0.02mm

上下水

水壓注水,水泵排水。



二、廠務(wù)安裝條件

2.1 設(shè)備尺寸

設(shè)備整機(jī)尺寸1000mm(長(zhǎng))×900mm(寬)×1400mm(高)。安裝方案基于空間占用小和維護(hù)/服務(wù)條件優(yōu)化的需要,保證在設(shè)備周圍留有500mm的空間,可以方便工作人員進(jìn)行操作、維護(hù)。

2.2 電腦桌

設(shè)備配有電腦桌,用于安放鼠標(biāo)、鍵盤及顯示器。用戶也可自行配備。

2.3 電力供應(yīng)

工作電源:220V±10%/50Hz,1~2KW

另外,設(shè)備配有UPS電源,以保護(hù)設(shè)備運(yùn)行安全。

2.4 水源:

設(shè)備需要自來(lái)水、去離子水或者純凈水,并且需要定期更換。水溫要求:1530℃

2.5 環(huán)境相對(duì)濕度:35℃≤50RH

2.6 環(huán)境溫度要求:2035℃

2.7 周邊環(huán)境:

不要放在強(qiáng)磁場(chǎng)、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。

減少振動(dòng)。

灰塵少、濕氣少,沒(méi)有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化,限制小。

為了防止地震的損壞,四周一定要固定。

三、設(shè)備主要配置表

序號(hào)

名稱

規(guī)格

1

掃描系統(tǒng)

X軸:直線電機(jī)驅(qū)動(dòng);Y軸:伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng);Z軸:步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

2

水槽

620mm x 650mm x 150 mm

3

超聲發(fā)射、接收器

帶寬1-65MHz

4

高速數(shù)據(jù)采集卡

采樣頻率 500MHz

5

超聲探頭

本機(jī)型可適配100MHz及以下頻率的探頭;

本機(jī)型標(biāo)50MHz0.5in探頭一只;透射模組T-scan一套;

6

工控機(jī)

i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。

7

顯示器

兩個(gè)27"液晶顯示器

8

檢測(cè)軟件

思為超聲無(wú)損檢測(cè)軟件V2.0

四、半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)能力

測(cè)量能力

能力描述

標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差

測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊,在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下,超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。

工件測(cè)量誤差

選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB30dB進(jìn)行檢測(cè),三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。

厚度測(cè)量范圍

Epoxy材料:                                Cu材料:

0.5 ~ 2mm50MHz探頭)                       0.5 ~ 1.4mm25MHz探頭)

1.0 ~ 4.0mm15MHz探頭)                     1.2 ~ 3.7mm15MHz探頭)

注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭

缺陷識(shí)別能力

在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi),被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下,且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米(15MHz25MHz探頭)和0.07毫米(50MHz探頭)。

、軟件功能

軟件功能

功能描述

手動(dòng)掃描

可以通過(guò)手動(dòng)的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況,并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。

探頭與C掃圖像對(duì)位

可通過(guò)點(diǎn)擊C 掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。

手動(dòng)分析

對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯,包括加框(確認(rèn)有效分析區(qū)域),測(cè)距,修改閾值,圖片剪裁,弧面補(bǔ)償?shù)取?/span>

多種掃描模式

1) A掃描:查看超聲反射或透射波形;

2) C掃描:對(duì)焦深度上沿X-Y平面掃描并成像;

3) T掃描:安裝透射探桿,執(zhí)行穿透掃描;

4) 區(qū)域掃描:可自定義檢測(cè)區(qū)域,并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描;

5) 斷層掃描:在指定的多種深度自動(dòng)多次執(zhí)行C掃描并成像;

6) 批量掃描:對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。

報(bào)告自動(dòng)生成

可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。

探頭管理

可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。

一鍵自動(dòng)校準(zhǔn)

可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化,能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移,保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度

系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS(“STainless Steel Standard”的縮寫),其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。

缺陷檢測(cè)能

焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。

可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求,提供有償定制開(kāi)發(fā)服務(wù)。

厚度檢測(cè)

金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測(cè)。

密度檢測(cè)

粉末冶金原材料密度分布檢測(cè)。

斷層檢測(cè)

對(duì)被測(cè)工件不同深度位置獨(dú)立對(duì)焦和掃描,形成多層斷層圖像,展現(xiàn)立體缺陷。

聲速檢測(cè)

聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度檢測(cè)。

六、標(biāo)準(zhǔn)材料聲速表

材料

聲速(m/s

Aluminum

6305

Steel,common

5920

不銹鋼

Steel,stainless

5740

黃銅

Brass

4399

Copper

4720

Iron

5930

Sliver

3607

Gold

3251

Titanium

5990

聚氯乙烯

PVC

2388

樹(shù)脂

resin

4076

金剛石

diamond

14000

zinc

4170

有機(jī)玻璃

Organic glass

2730

陶瓷

ceramic

5842

tin

3230

water

1500

 

 

 

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